강의계획서
| 교과목코드 | JEF02325 | 교과목명 | 반도체소재및공정 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 신소재공학과 | 교수 | 김혜진 |
| 교수소속 | 신소재공학과 | 이수학년 | 3학년 |
| 과목구분 | 이론 | 과정구분 | |
| 이메일 | haejinkim@mju.ac.kr | 전화번호 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 반도체 소개 및 공정 개론 |
| 2주차 | 웨이퍼 제조 및 세정 |
| 3주차 | 산화 (oxidation) |
| 4주차 | 확산 (diffusion) |
| 5주차 | 이온 주입 (Ion implantation) |
| 6주차 | 리소그래피 1 |
| 7주차 | 리소그래피 2 |
| 8주차 | 중간고사 |
| 9주차 | PVD |
| 10주차 | CVD |
| 11주차 | ALD |
| 12주차 | 식각1 |
| 13주차 | 식각2 |
| 14주차 | CMP 및 배선공정 |
| 15주차 | 기말고사 |
| 16주차 |