연구업적

논문 (최근 3년간의 실적)

테이블 이름 - 년도 및 제목
년도 제목
2021-01-15 Surface Analysis of Amorphous Carbon Thin Film for Etch Hard Mask
2020-12-01 준지도학습 기반 반도체 공정 이상 상태 감지 및 분류
2020-09-28 Understanding of RF Impedance Matching System Using VI-Probe
2020-06-30 실리콘 웨이퍼 습식 식각장치 설계 및 공정개발
2020-04-27 In situ monitoring of plasma ignition step in capacitively coupled plasma systems
2020-04-21 Planar heating chuck to improve temperature uniformity of plasma processing equipment
2019-12-01 반도체 장비상태 모니터링을 위한 SCADA 시스템 구현
2019-06-01 Modeling with Thin Film Thickness using Machine Learning
2019-06-01 공정 조건에 따른 비정질 탄소막 표면 물성분석
2019-05-01 Performance Evaluation of RF Generators with In-Situ Plasma Process Monitoring Sensors
2019-03-28 An in situ monitoring method for PECVD process equipment condition
2019-03-01 공산품 안전인증에 대한 소비자 태도, 공산품 안전인증 효과에 대한 소비자인식, 공산품안전인증에 대한 소비자 신뢰 분석
2019-03-01 Analysis of Optical Plasma Monitoring in Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Process of Al2O3
2019-02-09 Surface coupling of plasma optical emission spectra with bent metal-clad waveguide
2018-05-31 Optical in situ monitoring of plasma-enhanced atomic layer deposition process

상훈 (최근 3년간의 실적)

테이블 이름 - 년도 및 제목
년도 제목
2020-08-21 2019학년도 학술상

연구수탁 (최근 3년간의 실적)

테이블 이름 - 년도 및 제목
년도 제목
2020-07-02 [RCMS] 200단급 이상 3D NAND용 Oxide 및 Nitride 증착장비 개발(4-1차년도)
2020-06-09 반도체 테스트베드 구축 기본구상 연구용역
2020-06-01 [RCMS]시스템 반도체 제조용 PVD Sputter 정전척(ESC) 개발(3-1차년도)
2020-05-19 [RCMS]ALD 공정 생산성 향상을 위한 부산물처리用 高용량(기존 대비 2배 이상) 플라즈마 배기 처리 시스템 개발(4-1차년도)
2020-03-01 [5-4차년도]사회맞춤형 산학협력 선도대학(LINC+)육성사업(사회맞춤형 학과 중점형)
2020-03-01 스마트 예지 정비 기능의 반도체 공정 장비 제어 기술 개발(3-2차년도)
2020-03-01 [RCMS]스마트 예지 정비 기능의 반도체 공정 장비 제어 기술 개발(3-2차년도)
2020-03-01 [RCMS]산학프로젝트 기반 반도체소재부품장비기술 전문인력양성(5-2차년도)
2020-01-01 [RCMS]반도체 공정 챔버 세정용 불소 가스를 사용하지 않는 플라즈마 처리 시스템 개발[4-4차년도]
2019-10-01 [RCMS]차세대 반도체 소재·부품·장비 글로벌 경쟁력 선도를 위한 재직자교육사업
2019-09-20 스마트 예지 정비 기능의 반도체 공정 장비 제어 기술 개발(3-1차년도)
2019-09-20 [RCMS]스마트 예지 정비 기능의 반도체 공정 장비 제어 기술 개발(3-1차년도)
2019-08-05 [RCMS]반도체 인프라를 활용한 수요 맞춤형 플랫폼 구축
2019-04-19 [RCMS]산학프로젝트 기반 반도체소재부품장비기술 전문인력양성(5-1차년도)
2019-04-15 [5-3차년도]사회맞춤형 산학협력 선도대학(LINC+)육성사업(사회맞춤형 학과 중점형)
2019-01-01 [RCMS]반도체 공정 챔버 세정용 불소 가스를 사용하지 않는 플라즈마 처리 시스템 개발[4-3차년도]
2018-08-23 Multi-zone Esc 온도제어 및 분석을 위한 On-wafer Temperature Sensor(OTS) 시스템 개발
2018-07-19 인피콘 제품 평가
2018-06-01 [RCMS]반도체 공정 챔버 세정용 불소 가스를 사용하지 않는 플라즈마 처리 시스템 개발[4-2차년도]
2018-04-23 [RCMS]첨단센서 소재부품 설계·소재·공정 기술혁신 전문인력양성[3-3차년도]
2018-04-09 [5-2차년도]사회맞춤형 산학협력 선도대학(LINC+)육성사업(사회맞춤형 학과 중점형)

지적재산권 (최근 3년간의 실적)

테이블 이름 - 년도 및 제목
년도 제목
2020-11-02 실리콘 웨이퍼 습식 식각 장치 및 이의 조립 공정
2019-09-02 신호 감지 거리 조절이 가능한 알에프 파워 센서 및 구조체
2019-03-22 3차원 마이크로 링 공진기
2018-11-05 신호 출력 감도 조절이 가능한 알에프 센서
2018-11-05 신호 출력 감도 조절 및 위상차 보정이 가능한 알에프 센서

학술대회발표 (최근 3년간의 실적)

테이블 이름 - 년도 및 제목
년도 제목
2021-01-18 Effect of Hard Mask Deposition/Strip Process Temperature on SiOH Low-k Dielectric Film
2021-01-18 In-Situ Optical Monitoring of Atmospheric Pressure Glow Discharge Plasma in Organic Surface Cleaning
2021-01-18 Kinetic Mechanism of Reactive Oxygen/Nitrogen Species for Plasma Assisted Greenhouse Gas Replacement
2021-01-18 Surface Analysis of Low-k Dielectrics after Amorphous Carbon Layer Strip Process
2020-02-11 Applying Adaptive Boosting for Fault Detection and Classification in Semiconductor Process Equipment
2019-11-22 Planar Heating Chuck to Improve Temperature Uniformity of Plasma Processing Equipment
2019-11-22 In-situ Process Monitoring for Eco-friendly Chemical Vapor Deposition Chamber Cleaning
2019-11-22 In-situ Monitoring of Plasma Ignition Steps in Capacitively Coupled Plasma System
2019-11-06 Surface Properties of Amorphous Carbon Thin Film for Dry Etch Hard Mask
2019-11-06 Surface Properties of Amorphous Carbon Thin Film for Dry Etch Hard Mask
2019-10-20 Virtual Metrology on Thin Film Deposition Process for Semiconductor Fabrication
2019-08-14 Chamber 내부 Coating 물질별 내 플라즈마 저항 특성연구
2019-08-14 식각장비의 GDP 표면의 절연체 두꼐에 따른 영향성 해석
2019-08-14 유연기판 균일 압력을 위한 곡면설계
2019-08-14 RF 임피던스 정합장치 연구
2019-05-09 OPM 센서를 사용한 Ashing 공정 모니터링
2019-05-09 머신 러닝을 사용한 비정질 탄소막 두께 모델링
2019-05-09 기업체 현장경험을 통한 취업역량 향상에 관한 연구
2019-05-09 반도체 장비 제어를 위한 PLC 활용 SCADA 시스템 구축
2019-05-09 비정질 탄소막 증착 공정에서의 가상 계측 모델링
2019-05-09 샤워헤드 구조 변경에 따른 웨이퍼 표면의 가스 속도 시뮬레이션
2019-05-09 전기적 및 광학적 진단 센서를 사용한 PECVD 장비 건전성 평가
2019-05-09 실시간 웨이퍼 온도 측정 및 분석 소프트웨어 개발
2019-05-09 O2, H2, Ar 가스를 이용한 비정질 탄소막 챔버 세정 공정 모니터링
2019-05-09 초박막 실리콘 산화막 경도 예측
2019-05-09 정전척 표면 구조에 따른 온도 균일도 분석
2019-05-09 공정 조건에 따른 비정질 탄소막 표면 물성 분석
2019-05-09 챔버 내벽 보호를 위한 대체 코팅 물질 분석
2018-07-28 In-Situ Monitoring Method of Plasma Process Equipment Condition: Deposition andCleaning
2018-07-28 Performance Evaluation Method of RF Generators with In-Situ Plasma Process Monitoring Sensors
2018-07-26 Designand Fabrication of Silicon Photonics Grating Couplers for Spatially ResolvedPlasma Uniformity Monitoring Sensor